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x荧光测厚仪x射线膜厚仪通过吧高压直流电压加在x射线的两极，产生不同能级的x射线穿过被测物，比较被测物两端x射线的强度来进行在线厚度测量。
x荧光测厚仪由于X光测厚仪是在线测量仪表，检测的厚度是钢板热态时的厚度，这样会和冷态时的厚度有一定的偏差，所以就增加了温度补偿系数。使在线测量的数据与冷态时保持一致。同样如果轧制材质有变化时，也会给测量带来误差。这时只需将不同材质的样板进行检测，计算出合金补偿系数，也可以使测量数据和实际材质厚度保持一致。
x荧光测厚仪简单地说萤光X射线装置(XRF)和X射线衍射装置(XRD)有何不同,萤光X射线装置(XRF)能得到某物质中的元素信息（物质构成,组成和镀层厚度）,X射线衍射装置(XRD)能得到某物质中的结晶信息。
具体地说,比如用不同的装置测定食盐(氯化钠=NaCl)时,从萤光X射线装置得到的信息为此物质由钠(Na)和氯(Cl)构成,而从X射线衍射装置得到的信息为此物质由氯化钠(NaCl)的结晶构成。单纯地看也许会认为能知道结晶状态的X射线衍射装置(XRD)为好,但当测定含多种化合物的物质时只用衍射装置(XRD)就很难判定,必须先用萤光X射线装置(XRF)得到元素信息后才能进行定性。
膜厚仪也叫X射线测厚仪，它的原理是物质经X射线或粒子射线照射后，由于吸收多余的能量而变成不稳定的状态。从不稳定状态要回到稳定状态，此物质必需将多余的能量释放出来，而此时是以荧光或光的形态被释放出来。荧光X射线镀层厚度测量仪或成分分析仪的原理就是测量这被释放出来的荧光的能量及强度，来进行定性和定量分析。
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